氮气中含量最多、害处最大的成分是氧气，除氧的方法有：1）碳氧反应化学法除氧：采用勃大泰欣生产的曾获得二等国家发明的炭载型3093脱氧剂除氧，3093脱氧剂既作为催化剂，又作为反应物参与反应，反应温和，过程简单，操作稳定。2）氢氧反应化学法除氧：在氮气中配入等比例的氢气，在勃大泰欣生产的曾获得国家三等发明奖的159脱氧剂（钯触媒）作用下，常温除氧两种方法。

炭氧反应法除氧方程式：C+O₂→CO₂ ，生成的二氧化碳是很容易被吸附剂脱除的极性分子，除氧后的气体通过装有吸附剂的吸附塔，除掉二氧化碳、水等杂质得到高纯氮气。氢氧反应法脱氧方程式：

2H₂+O₂→2H₂O，生成的水被干燥剂脱除得到高纯氮气。两种方法各有长处，氢氧法反应温和，常温就能除氧，缺点需要配入氢气，存在安全隐患，在没有氢源的地方无法完成除氧过程。炭氧法不需要配入其它介质，无安全无隐患，需要在280度下完成脱氧过程。

无论哪种脱氧法的纯化装置均采用复式流程，即两组吸附器并联，一组工作，同时另一组再生，以保证装置连续运转，装置有自动和手动两种控制方式可供用户选择。